【48812】华林科纳参展产品丨风囊泵、PFA原料PTFE膜折叠滤芯_其它金属滤芯

【48812】华林科纳参展产品丨风囊泵、PFA原料PTFE膜折叠滤芯

发布时间： 2024-06-09 来源：其它金属滤芯

产品详细

5月18日-5月19日，由华林科纳举行的2023泛半导体湿法沟通会第五期：化学流体体系技能与运用沟通会在江苏南通市成功举行。会议共约请42家企业参会，参会人员96人。本期沟通会安排了学术技能沟通陈述、流体展示及实操等多种形式的活动，沟通高纯流体在湿法范畴的技能与运用，并展示了超100种高纯流体产品。

华林科纳此次展厅参展产品有PFA管（耐盐酸）、PFA入珠接头、PFA扩口接头、PFA焊接接头、PFA手动隔膜阀、PVDF过滤器，PFA磁制液位弹性计、PFA温度探头、PFA加热丝、PTFE风囊泵、在线加热器等多种产品，并向参会人员展示实时洁净车间出产，获得了业内人士的认可。

风囊泵作业原理：紧缩空气进入泵的气相作业腔后，紧缩风囊变形移动，经过换向阀操控紧缩空气顺次进入两个气相作业腔作业，运用液相腔的替换吸液排液，完成对液体的运送。

⑤ 加入了削减脉动过高的设备，可供给各种尺度的平垫脉动阻尼器以削减空气驱动泵发生的冲击

（1）药液恒温操控：由风囊泵、循环溢流槽、阀门、过滤器、管件、热交换器，制冷机或加热器等组成温度操控办理体系。经过泵使药液循环并在热交换器内进行热交换用以完成药液的恒温操控。

（2）药液的循环过滤：由风囊泵、循环溢流槽、阀门、过滤器、管件等组成药液的循环过滤体系。完成药液的循环过滤，均匀流场。确保工艺槽药液温度和浓度的均匀性。

（3）废液收回和再运用：100℃以下强腐蚀性药液（如SPM）运用后废液如直接从工艺槽排至废液管道，因为温度高，将导致排液管道的损坏，引起安全事故，选用工艺槽内天然冷却的办法又耗时过长，影响出产功率。一般都会选用高温风囊泵将槽内药液运送至降温槽，在降温槽内降温后再排入排废管道，这种办法即节省了时刻，又确保了出产的安全性，被业界所广泛选用。

华林科纳PFA原料PTFE膜折叠滤芯是专为处理强氧化性高腐蚀性流体而开发的全氟滤芯，该滤芯选用PTFE滤膜为过滤介质,导流层、支撑层、中心杆、外壳端盖、密封圈均为含氟资料，可用于半导体湿法运用中的SC1，SC2，49HF，HNO，EKC,NMP等液体过滤打造。